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真空閥門在真空系統(tǒng)中的作用有哪些?

發(fā)布日期:[2019-12-31]     點(diǎn)擊率:

在真空系統(tǒng)中,用來改變氣流方向,調(diào)節(jié)氣流量大小,切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件稱為真空閥門。
作用:
1.開關(guān)氣路,當(dāng)閥1和閥4關(guān)閉,閥2打開時(shí),機(jī)械真空泵Ⅲ對(duì)容器I抽真空,氣流流經(jīng)預(yù)真空抽氣管路;當(dāng)閥2關(guān)閉,閥4打開時(shí),機(jī)械泵可單獨(dú)對(duì)擴(kuò)散泵抽真空;當(dāng)閥1和閥4同時(shí)打開時(shí),擴(kuò)散泵和機(jī)械泵可同時(shí)工作,對(duì)容器進(jìn)行抽空,此時(shí)氣流流經(jīng)擴(kuò)散泵??梢?,閥門在這種操作中的作用是開關(guān)氣路,改變氣流的流經(jīng)路線。
2.控制氣流大小,調(diào)節(jié)真空度在圖1中,調(diào)節(jié)閥1的閥蓋開啟角度,即可調(diào)節(jié)流經(jīng)管路的氣流量大?。魂P(guān)閉閥2和閥4,通過放氣閥3可以給機(jī)械泵Ⅲ的入口放成大氣;通過放氣閥5可以調(diào)節(jié)容器內(nèi)的真空度。
3.定量充氣,在玻璃閥的柱塞上有個(gè)一定體積的小洞,當(dāng)小洞轉(zhuǎn)向右邊和高壓氣瓶連通時(shí),小洞中就可充滿高壓氣體;當(dāng)它轉(zhuǎn)向左邊和真空容器連通時(shí),就把該體積的高壓氣體放進(jìn)容器中去,這樣就起到了定量充氣的作用。

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